Introdução aos sistemas micro electromecânicos MEMS
Introdução aos sistemas microelectromecânicos MEMS Os sistemas microelectromecânicos (MEMS) são dispositivos que têm partes móveis feitas de componentes microscópicos. São também designados por micromecatrónica e microssistemas. À nanoescala, fundem-se em sistemas nanoelectromecânicos ou nanotecnologia. Os nanotubos são um processo unitário fundamental para o fabrico de sistemas microelectromecânicos mems Os investigadores [...]