Введение в микроэлектромеханические системы MEMS
Введение в микроэлектромеханические системы Микроэлектромеханические системы (МЭМС) - это устройства с подвижными частями, состоящими из микроскопических компонентов. Их также называют микромехатроникой и микросистемами. В наномасштабе они объединяются в наноэлектромеханические системы или нанотехнологии. Нанотрубки являются основополагающим элементом процесса производства микроэлектромеханических систем Исследователи [...]...