Eine Einführung in MEMS Mikro-Elektro-Mechanische Systeme
Eine Einführung in MEMS Mikro-Elektro-Mechanische Systeme Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) sind Geräte mit beweglichen Teilen, die aus mikroskopisch kleinen Komponenten bestehen. Sie werden auch als Mikromechatronik und Mikrosysteme bezeichnet. Auf der Nanoskala gehen sie in nanoelektromechanische Systeme oder Nanotechnologie über. Nanoröhren sind ein grundlegender Einheitsprozess für die Herstellung mikroelektromechanischer Systeme Die Forscher [...]